咪唑类缓蚀剂在 Cu(111)面吸附行为的密度泛函理论研究.pdf
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- 咪唑类缓蚀剂在 Cu111面吸附行为的密度泛函理论研究 咪唑 类缓蚀剂 Cu 111 吸附 行为 密度 理论研究
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1、 摘 要 本论文以量子化学密度泛函理论为基础,运用Materials Studio软件包中的Dmol3模块,在不施加任何对称性限制条件下,采用广义梯度近似 GGA-PBE 交换关联函数,在双数值轨道基组加轨道极化函数 DNP 水平上分别对 3 种咪唑类分子的前线轨道能量、自然电荷分布、各原子对前线轨道贡献以及 Fukui 指数进行计算,分析得到分子的反应活性位点;通过活性位点的分布,确定三种缓蚀剂分子在 Cu(111)面的吸附结构。量子化学计算的结果表明:咪唑类缓蚀剂分子的反应活性位主要集中在咪唑环上的 N 和 S 上;三种缓蚀剂分子在Cu(111)面的吸附均为化学吸附,主要利用其反键轨道接受
2、金属表面电子形成反馈键;IMD和 BIMD 分子的稳定吸附均为 N 原子的顶位吸附,而 MBIMD 分子的稳定吸附则是 N 原子的顶位吸附以及 N、S 原子的桥位吸附;另外,三种缓蚀剂分子中的 H 可与表面 Cu 作用形成 X-H Metal 氢键。关键词:关键词:咪唑;缓蚀剂;吸附;量子化学计算;密度泛函理论 ABSTRACT This thesis was based on the theory of density functional theory(DFT)of quantum chemistry.The frontier orbital energy,charge distribut
3、ion and Fukui indexes of three imidazoles molecules were calculated by the program package DMol3 in Materials Studio,which in not inflict any symmetry restriction conditions,using generalized gradient approximation GGA-PBE exchange correlation functions,at the double numerical orbital basis set and
4、orbital polarization function DNP level.Analysising the reaction active sites of imidazoles molecules and studying the adsorption structure of three imidazoles molecules on Cu(111)surface.The result of quantum chemistry calculations indicated that the reaction active sites of imidazoles were mainly
5、located at nitrogen atom of the ring of imidazole and heteroatom of sulfur;The adsorption of 3 imidazoles molecules on Cu(111)surface are all chemisorption,the adsorption structure of IMD and BIMD molecules are the top adsorption of nitrogen atom,MBIMD molecule has two adsorption structures,which ar
6、e the top adsorption of nitrogen atom and bridge adsorption of nitrogen、sulfur atoms.In addition,the hydrogen atoms of three imidazoles molecules can form hydrogen bond with copper surface.Keywords:Imidazole;Inhibitor;Adsorption;Quantum chemistry calculation;Density functional theory 目目 录录 第一章 前言.1
7、1.缓蚀剂概述.1 1.1 缓蚀技术的发展史.1 1.2 咪唑类缓蚀剂的研究现状.2 2.有机缓蚀剂缓蚀机理的研究.3 2.1 缓蚀机理研究的常用方法.3 2.1.1 实验方法.3 2.1.2 理论方法.4 2.2 有机缓蚀剂的量子化学研究.4 2.2.1 有机缓蚀剂缓蚀机理的量子化学研究.4 2.2.2 有机缓蚀剂在金属表面吸附的量子化学研究.5 第二章 计算方法与软件简介.6 1.计算方法.6 1.1 从头算(ab initio)方法.6 1.2 半经验(semi-empirical)方法.6 1.3 密度泛函理论(DFT)方法.6 2.Materials Studio 软件简介.7 第三
8、章 咪唑类缓蚀剂缓蚀性能的量子化学研究.8 1.引言.8 2.计算方法.8 3.计算结果与讨论.9 3.1 最优化分子构型.9 3.2 前线轨道分布.9 3.3 局部反应活性分析.10 3.3.1 电荷分布.11 3.3.2 Fukui 指数分析.13 4.本章小结.15 第四章 咪唑类缓蚀剂在 Cu(111)面吸附的量子化学研究.16 1 1.引言.16 2.计算方法与模型.16 3.计算结果与讨论.16 3.1 分子稳定吸附结构.16 3.2 差分电荷密度分析.18 4.本章小结.19 第五章 结论.21 致 谢.22 参考文献.23 前言 1 第一章 前言 腐蚀是困扰我国工业发展的一个极
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